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【英雄联盟总决赛竞猜】半透明导电氧化膜(TCO)激光器一般用于纳秒调Q激光器。随着合适的非脉冲激光系统的供应减少,制造商面临着是否投资新的激光系统以提高加工质量和生产率的问题。使用散射光学元件,如光束整形元件和分光镜,以及现有的基于纳秒激光的生产系统,可以提高薄膜激光器的显示,如更高的处理质量和效率。

为了引起人们对激光光束整形优点的关注,采用二极管泵浦液体激光器(DPSSL)对氧化铟锡(ITO)进行加工,用于不同散射平顶光束整形元件和四重分束器。分解后的平顶激光束轮廓可用于小脉冲重合的互反掩模版的扩展;例如以非常高的得分速度。光谱学用于构建并行处理,以提高效率并构建激光能量的可持续利用。薄膜的激光加工激光加工一直是薄膜生产中不可缺少的技术。

特别是在薄膜太阳能电池的加工中,单个沉积的功能层所包含的激光结构一般由二极管泵浦的液体激光器来完成,它采用高斯光束轮廓,不同的波长和脉冲长度(纳秒范围)。激光划线过程一般分为P1(包括半透明导电氧化物层)、P2(在半导体吸收层上划线)和P3(在识别层上划线)。图1:高斯光束(左侧)和平面光束(右侧)对激光薄膜造成不同的激光曝光:激光束轮廓的截面(a)、激光形成的圆形和矩形激光脚点(b)、被加工材料系统的截面示意图(c)。

特别地,在显示器件、触摸屏和有机发光二极管的生产中也可以看到半透明导电氧化物层的P1划线。与传统方法不同,如机械针刺或湿化学转移印刷,激光划片引起的薄膜机械变形大于薄膜,可以避免不容易引起异议的化学处理。

虽然非脉冲激光系统已被科学研究证明优于加工质量和更高的生产率,但目前用作最先进的薄膜划片设备的工业激光系统仍然是纳秒脉冲调Q二极管泵浦液体激光器。为了进一步改善它们的显示,可以将光束成形光学元件出色地引入到现有的生产系统中,以优化光束轮廓并减少平行加工的输入光束。将平顶光束轮廓修正的薄膜激光器应用于高斯光束轮廓的主要困难是管理材料上感应的能量。

图1说明了薄膜激光器的原理。只有在激光强度达到激光阈值的区域,几乎不会产生激光。

任何达到这个阈值的能量都可能损坏衬底材料。高斯光束轮廓两侧的能量高于激光阈值,不会对周围材料造成不必要的冷却,导致结构损伤。根据柯明度的说法,高斯光束中高达36.8%的能量被有效地用作薄层激光。如图1a的右图所示,平顶光束轮廓可以明显地提高能量以给出激光阈值,主要是通过降低远超过阈值且在轮廓两侧的过剩能量。

因此,可以防止激光划线对下部和附近区域中的基板的潜在损害。用于光束整形元件分解的平顶光束轮廓可以带来进一步的好处,即可以将圆形激光脚点变为正方形或矩形。一般来说,脉冲激光形成的圆形激光脚点不会沿着激光路径形成锯齿图案,从而在薄膜中造成不必要的机械变形。为了防止这种情况,当用于圆形高斯光束轮廓时,脉冲重合应该至少低约70%。

相比之下,矩形激光脚可以产生只有非常小重叠的平坦侧壁,从而提高激光微加工的处理速度。对不同的任务使用不同的平顶梁剖面。接下来,我们将总结反射和散射光束整形光学元件形成平顶光束轮廓的有价值的实用规则。

焦平面上非整形光束的光斑直径由波长、光学元件的数值孔径和输出光束的质量决定。显然,只有扩大光斑直径才能构成透射再现,从而形成均匀分布的平顶光束轮廓。

这种特殊的光束整形物理方法具有不同程度的空间扩展,光束的均匀分布可以在一个或两个维度上展开。一般来说,用于薄膜加工的二极管泵浦液体激光器在焦平面上呈现出无限散射的单模高斯光束轮廓(TEM00)。

根据经验法则,通过反射光束整形元件,较大平顶光束的直径(1/E2-极限)比具有无限LOL下注网站散射的非整形TEM00光斑的直径至少大4倍。除了大于特征直径的公差之外,反射光束整形元件可以在至少1厘米内分解平顶光束轮廓,并且还可以用作多模激光器(图2)。然而,在薄膜激光加工过程中,大的光斑直径可以去除更多的材料,从而增加设备的有效面积。图2:IPG 980纳米光纤耦合激光器中反射高斯平顶光束整形元件分解的规则平顶光束轮廓。

激光源光束质量:M219;数值孔径(NA)=0.005。或者几乎散射无限平顶光束可以被用于散射的光束整形元件分解。每个光束整形元件(FBS)可以在工作平面上产生两个不同的平顶光束轮廓。

零阶平顶光束只比无限散射的未成形TEM00光斑大1.5倍,而一阶平顶光束比无限散射的未成形TEM00光斑大3倍。下面两个公式可以估算FBS光学元件的零级和一级平顶光束的焦径。

此外,光纤光栅光学元件具有高效率(95%),分解后的平顶光束轮廓具有高均匀性(2.5%)。输出光束直径和纵向位移的典型公差约为所用光束直径的10%。

输出光束的质量应该低于M2=1.5。-英雄联盟总决赛竞猜。

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